基本信息
原磊纳米是一家ALD/ALE设备研发生产商,公司主要提供原子层沉积(ALD)、原位表面等离子体增强(ISSET)等技术及相关精密加工服务。致力于ALD/ALE(原子层沉积/原子层刻蚀)设备和工艺的研发,提供ALD/ALE设备量身定制,包括Thermal、PE、UV、 Microwave等不同工艺方式,Single processes和Batch processes等不同进样形式,自动化进样的Loader系统等等。
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原子层沉积(ALD)射频器件(RF)集成电路半导体集成电路智能制造