基本信息
东方晶源是一家集成电路良率管理解决方案提供商,主要产品为纳米级检测装备和光刻机与制程优化系列软件产品,其中光刻机优化和计算光刻软件,采用CPU+GPU 混合超算技术以及深度机器学习的建模和仿真技术,拥有创新的全芯片ILT(反向光刻)技术,使得掩膜优化(OPC)实现了从“艺术”到“科学”的跨越;另外纳米级检测设备产品为国内首台电子束缺陷检测设备,拥有精密的电子束扫面成像系统、晶圆装载与互锁系统和高真空工件台系统,配合自主研发的缺陷检测和自动分类(ADC)算法,提供完整的纳米级缺陷检测和分析解决方案。
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